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潔凈工程安裝高效過濾器注意事項

潔凈工程安裝高效過濾器注意事項

潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

高效過濾器是潔凈工程中的重中之重,一般來說,潔凈室會安設(shè)有初效、中效、高效三級過濾器,高效過濾器主要用于捕集0.5um以下的顆?;覊m及各種懸浮物,是室外空氣進入潔凈室的最后一道關(guān)卡。安裝高效過濾器,并不是像我們?nèi)粘0惭b空調(diào)那么簡單,它是最后一道關(guān)卡,責(zé)任重大,在安裝時,也有諸多的特殊要求。
特殊之處一:安裝之前室內(nèi)先清潔
在一般人的設(shè)想中,三級過濾器一起安裝,最后一起運行便可以了。然而并非如此。潔凈工程中,在安裝高效過濾器之前,首先要對潔凈室、潔凈空調(diào)系統(tǒng)進行全面清潔,達到清潔要求后,凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運轉(zhuǎn)12h以上,再次清掃、擦凈潔凈室后,方可安裝高效過濾器。為什么要先清潔呢?高效過濾器用于捕集0.5um以下的微粒,如果不先進行清潔,大量的微粒會造成高效過濾器堵塞。
特殊之處二:輕拿輕放,防止劇烈震動
潔凈工程中,高效過濾器的運輸和存放應(yīng)按照出產(chǎn)廠標志的方向擱置,運輸過程中應(yīng)輕拿輕放,防止劇烈振動和碰撞。這是因為高效過濾器是非常精密的儀器,頭發(fā)絲般的誤差便會導(dǎo)致儀器失靈,因此需要輕拿輕放,防止劇烈震動。
特殊之處三:安裝現(xiàn)場再打開外包裝
為什么一定要在安裝現(xiàn)場再打開外包裝呢?在出廠時,高效過濾器經(jīng)過了精心的包裝,包裝材料也是無塵的,達到了一定的潔凈等級,在潔凈的環(huán)境中方可讓高效過濾器曝露在空氣中。
特殊之處四:安裝質(zhì)量好的預(yù)過濾器與中效過濾器
實施潔凈工程,安裝高效過濾器后,再要更換,便十分的麻煩,因為要更換高效過濾器,整個潔凈室便無法應(yīng)用了。對此,潔凈公司的做法是選擇質(zhì)量好的預(yù)過濾器與中效過濾器,以延長高效過濾器的使用壽命。
高效過濾器的型號、功率、體積、安裝位置等問題,在潔凈室設(shè)計中便要解決。一些潔凈公司缺乏經(jīng)驗,或技術(shù)不到位,安裝高效過濾器不得其法,影響了潔凈室的使用。

潔凈區(qū)部分高效過濾器進行更換時,用干凈的抹布清潔高效過濾器的靜壓箱,然后,打開高效過濾器內(nèi)包裝,將密封條粘貼到高效過濾器的進風(fēng)側(cè),平穩(wěn)的把高效過濾器放入靜壓箱內(nèi),搬運時一定注意輕拿輕放,并記錄高效過濾器規(guī)格型號、編號及安裝位置。固定過濾器時,先檢查過濾器在靜壓箱的中間,過濾器與靜壓箱四周離距相當(dāng),固定件應(yīng)對角固定,防止受力不均或損壞過濾器。靜壓箱內(nèi)固定螺母應(yīng)旋緊,使高效過濾器與靜壓箱之間的連接吻合且密封。然后開啟空調(diào)機組,對系統(tǒng)進行通風(fēng)后,打開高效過濾器內(nèi)包裝,按以上步驟進行更換。

裝好高效過濾器后,運行系統(tǒng),檢查有無漏風(fēng)。當(dāng)發(fā)現(xiàn)有漏風(fēng)時,做如下處理:緊固固定件或更換密封條并重新安裝,高效過濾器本身漏風(fēng),則需要更換新的高效過濾器。接下來,安裝高效過濾器面板,安裝時,按原標記好的方向安裝,面板與頂棚的連接處盡量減少空隙,防止灰塵積聚。高效過濾器安裝后,應(yīng)重新進行環(huán)境檢測,并做驗證,為下次確定高效過濾器報廢提供最可靠的依據(jù)。

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